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無塵布檢驗標準有哪些

2018-07-25 nn 39
        主要通過擦拭布的材質、吸收率、潔凈度和費用來評估無塵布。在半導體行業的潔凈室中,對無塵擦拭布的塵粒、離子、ESD等有很高的要求。專業的無塵布需進行嚴格的測試以達到性能要求和污染控制標準,一般無塵布需進行這些測試:
        一、抗磨損性測試:測試無塵布單位面積的重量,一般要求在150-300克/平米
        二、吸液量和吸液速度測試:吸液量一般不小于400克/平米,吸液速度一般不大于1秒
        三、IC測試:定性定量地測量無機陰陽離子含量
        四、NVR測試:測試單位面積上的不揮發性殘留物
        五、LPC測試:可是無塵布上的液態塵粒數
        六、FTIR測試:傅立葉變化紅外線光譜測試
        七、GC測試:分析無塵布上有機污染物種類和含量。